烘箱选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺， 所以对其的洁净度要求比较高， 同时用于膜的固化 等工艺， 保持片内的均匀性、 温控系统也是要求较高。 烘箱的生产厂家国内和国 外都比较多， 用途也是多元化的， 从价格角度考虑， 则把国内生产的烘箱放在首 位， 因为不论是售后服务还是备件购买都会相对容易一些， 价格很低很多。 但光 刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。
烘箱
操作规程
六、经过汽油、煤油、酒精、香蕉水易燃液洗涤过的零件及喷漆过的物品，应在室温下放置15~30分钟，待绝大部分易燃液体挥发后，才能放入烘箱内烘烤，室内应注意通风。
七、烘箱在工作时不得进行清洁工作，更不得用汽油擦拭。
八、非金属物品放入烘箱内加温，一定要按照工艺规程进行。
九、烘箱工作前必须将通风闸门打开，以防爆炸。
十、使用前要检查自控装置，指示信号是否灵敏有效，电气线路绝缘是否完好可靠。
烘箱是利用电热丝隔层加热使物体干燥的设备。其使用及注意事项总结如下：
5.放入试品时应注意排列不能太密。散热板上不应放试品，以免影响热气流向上流动。禁止烘焙易燃、易爆、易挥发及有腐蚀性的物品。
6.当需要观察工作室内样品情况时，可开启外道箱门，透过玻璃门观察。但箱门以尽量少开为好，以免影响恒温。特别是当工作在200℃以上时，开启箱门有可能使玻璃门骤冷而破裂。
7.有鼓风的烘箱，在加热和恒温的过程中必须将鼓风机开启，否则影响工作室温度的均匀性和损坏加热元件。

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